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分析晶体管生产用超纯水设备优点

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2016-08-19 11:32:12

  晶体管生产用超纯水设备采用反渗透技术与EDI技术相结合,制备出来的水质电阻率达到18兆欧以上,完全满足晶体管生产过程中硅片清洗用水要求。晶体管生产用超纯水设备采用PLC可编程控制系统,具有操作简单,在线监控等优点。

超纯水设备

  晶体管生产用超纯水设备工艺

  1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)

  2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)

  3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗透膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(新工艺)

  4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)

  5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)

超纯水设备

  晶体管生产用超纯水设备优点

  1、无需酸碱再生:在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生,而EDI则消除了这些有害物质的处理和繁重的工作。保护了环境。

  2、连续、简单的操作:在混床中由于每次再生和水质量的变化,使操作过程变得复杂,而EDI的产水过程是稳定的连续的,产水水质是恒定的,没有复杂的操作程序,操作大大简便化。

  3、降低了安装的要求:EDI超纯水系统与相当处理水量的混床相比,有较不的体积,它采用积木式结构,可依据场地的高度和灵活地构造。模块化的设计,使EDI在生产工作时能方便维护。

超纯水设备

  以上是晶体管生产用超纯水设备的相关先容。莱特莱德企业长期发展以来,一直以客户为主体,可以根据客户提供的具体情况以及对产水质量和用水量的要求,研究出只符合客户自身具体情况的水处理方案,可以为客户降低成本,提高效益。

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