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多项创新技术依托 为半导体元件提供用水保障

文章出处:编辑:发表时间:2021-03-29 15:13:00

  莱特莱德:多项创新技术依托 为半导体元件提供用水保障

  随着半导体元件微细化,在半导体成品的收率和可靠性方面,去除如颗粒和金属粒子的不纯物的重要性日趋凸显,这些颗粒和金属不纯物的污染成为元件性能下降和影响收率的重要因素。

  在半导体制程中,制作集成电路的尺寸越来越小,晶圆上的组件也随之缩小,使得各种有机物、粒子的接触污染及各机台导致的金属杂质等污染物大于或相当于组件尺寸的现象更严重,若在半导体制程中有污染物残留在晶圆表面上,将造成组件短路或缺陷,导致集成电路无法使用,因此,半导体制程中不允许晶圆表面上残留有污染物,污染物的去除是半导体制程中非常重要的技术。

  超纯水是半导体元件中用水的重要保障,莱特莱德超纯水设备严格遵循《电子级水GB-T11446.1-2013》超纯水标准,采用独有的靶向离子交换系统针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除,保证出水硼离子能够稳定≤5ppt。可有效去除水中各种离子、微生物、杂质、气体及有机物,使产水水质满足生产工艺用水水质要求。

超纯水设备

  莱特莱德超纯水设备的技术优势:

  1、连续运行禅水质稳定品质更佳。

  2、系统运行可靠性稳定。

  3、运行成本低。

  4、占地面积小。

  5、自动化程度高。

  6、操作及维护简单,无需接触酸碱。

  7、使用安全及环境良好。

  8、无污水排放,无环境污染

  莱特莱德以多项创新技术为依托,根据不同客户的需求,整合优势技术为用户提供高效优质的售后服务,及高性价比产品,构建双赢模式。莱特莱德是集设计、生产、制造于一体的综合大型企业,厂家生产的超纯水设备能够长期而稳定的生产出符合质量要求的用水,具有制备工艺简单、成本低、性能优越、耐久性能好、适用范围广等优点,在石油、化工、炼油、火力发电、电力也都有着重要应用。

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