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电力半导体器件用高纯水制取方法

文章出处:编辑:发表时间:2013-07-15 16:43:46

  随着时代的进步,电子产品已成为人们生活中不可缺少的必备品,生活水平的提高又使人们对电子产品的质量要求也越来越高。电子产品生产过程中,需要采用的水必须要达到电子级超纯水国家标准,水的质量与产品的质量有着直接的关系。

  超纯水处理设备水质标准

  电子级超纯水分为分成电子级和普通级,两者的标志分别为EH和PH。电子级的一般适用于制造工艺领域;普通级的一般适用于电力半导体器件的制造中。电子级的水又可以分为两个级别:特级(EH-T)和I级(EH-I);普通级的水则分为三个级别:I级(PH-1)、X级(PH-2)、M级(PH-3)。

  全自动超纯水设备工艺组成

  制取高纯水的设备通常由多介质过滤器、活性碳过滤器、钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统,以及RO反渗透主机系统、EDI电除盐系统系统等构成主要设备系统。工艺流程为:预处理-反渗透渗出渗出-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象;原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了自动化运行。

  电力半导体器件用高纯水制取设备可根据用户要求,在工艺及选材上进行设计,达到与同行业产品相比具有更高的性能,可靠性及性价比的设备。

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